檢索結果:共1筆資料 檢索策略: " 電極".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="電致動力輔助化學機械平坦化"
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本研究透過交錯式電極最佳化設計,以優化電致動力輔助化學機械平坦化製程(Electro-Kinetic Force Chemical Mechanical Planarization, EKF-CMP…